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飞秒激光加工金属掩膜:渐变狭缝如何实现侧壁零缺陷

2026-06-17
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   高校光学课题、光电高新技术企业研发,制备微米级渐变周期狭缝金属掩膜时

是否长期受传统加工工艺制约?

      化学蚀刻、机械切割制作金属掩膜板,加工渐变周期狭缝极易出现侧壁毛刺、狭缝宽窄不均、薄板变形翘曲等问题。投入光学实验使用时会产生杂散光,直接干扰光谱标定、衍射成像的数据精准度。


      

      常州巨凌智能科技有限公司近期交付客户的飞秒激光金属掩膜加工成品。工件采用金属薄板梯度平行狭缝结构,狭缝由宽至窄实现连续周期变化,依托飞秒激光微纳加工工艺一次成型,达到微米级尺寸精度。成品狭缝侧壁垂直光滑,无毛刺、无崩边、无重铸层,完美达成金属掩膜侧壁零缺陷加工标准。


一、传统加工 VS飞秒激光微纳加工 狭缝效果对比


二、飞秒激光精密加工实现侧壁零缺陷的核心原理


 1. 飞秒冷加工无热影响

     超短脉冲飞秒激光瞬间气化金属材料,无热扩散、无熔融堆积,从根源杜绝狭缝侧壁重铸毛刺,是微米级微结构加工核心优势;

 2. 非接触式激光刻蚀

    全程无刀具、模具接触金属板材,不产生挤压应力,薄型镍、不锈钢、钛合金掩膜加工后不变形;

 3. 高精度数控光路系统

     配套微米级定位平台,渐变周期狭缝每一段宽度、周期可独立参数调控,渐变过渡顺滑无台阶,满足光学掩膜高精度需求;

 4. 垂直光束聚焦刻蚀

    飞秒激光垂直聚焦加工,狭缝侧壁垂直度高,规避侧壁倾斜问题,适配光谱仪、衍射实验、光刻遮光等精密场景。


  三、飞秒激光金属掩膜加工主流应用场景


 1. 高校科研院所

    光学光谱实验、衍射标定、成像测试、微流控芯片配套金属掩膜试样;

 2. 光电精密制造

     光学传感器遮光片、检测设备精密掩膜、薄膜沉积光刻掩膜版;

 3. 微纳加工行业

    微米级微孔、微槽、阵列狭缝、渐变周期结构定制,全部依托飞秒激光微纳加工实现; 

4. 精密过滤器件

    金属薄板微通道、微量流体遮光过滤件激光定制。 


 四、常州巨凌智能飞秒激光加工服务优势 


       常州巨凌智能科技有限公司深耕飞秒激光微纳精密加工领域,专业承接金属掩膜、渐变周期狭缝、微米微孔、微槽结构定制打样,镍、铜、钛、不锈钢各类金属薄板均可加工。


 • 试样交付快:高校课题小批量样品快速评估打样,7 天内交付飞秒激光成品;

 • 量产稳定性强:企业批量订单稳定保障加工精度与品质把控;

 • 一对一工艺支持:可根据客户图纸定制专属微结构激光加工方案。 


联系我们


如需飞秒激光代加工服务或 飞秒激光加工技术咨询,欢迎联系常州巨凌智能科技有限公司,


有金属掩膜、微米级狭缝、飞秒激光微结构定制需求,可直接发送图纸咨询,免费获取加工报价与工艺方案。


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